Semiconductor Industry

半导体

我们最先进的五轴加工中心可量身设计生产某些大型零部件,用以满足半导体工业对产品的特殊要求, 比如直径450mm长的硅晶清洗花篮。

Dalau独特的新设计--- 硅晶花篮加强版

我们设计并生产加强版晶圆承载器。与标准碳棒材料相比较,Dalau独特的插入材料能够让花篮承受更高的工作温度。

Reinforced 200mm Wafer Carrier  Reinforced Wafer Carrier with lockable Lid

200mm硅晶花篮加强版                          锁盖式晶圆花篮加强版                              

其他定制的加工组件包括

 Machined pumps                Wafer Carriers                  Large machined PTFE Chamber

            机加工化学泵                        450mm PTFE Low Profile 晶圆承载器             直径550mm PTFE清洗舱                                     

         End Effectors   PTFE Wafer Carrier   PEEK Wafer carrier

                        末端执行器                                 晶圆承载器-25片                          PEEK晶圆承载器  

Dalau的电脑计算辅助设备和高级电脑数控设备,能够根据客户的指定要求生产出技术难度不同的硅晶花篮、掩膜载运体、基片承载器。 晶片盒是由单件材料一次性加工成型,而非螺丝绑定进行再加工。生产基质包括聚四氟乙烯(PTFE),改性聚四氟乙烯(PTFM),聚三氟氯乙烯(PCTFE)和防静电复合物。

                               PTFE Clamshell                 

                                           离合式承载器                                    离合式和滚筒式承载器

                            我们形状各异的模压产品都是在由气压调控的超净恒温室里加工完成。

                               Clean room facilities                 Machined component                            

                                             恒温洁净室                                     DMG CTX Gamma 2000TC

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